lib/templates/thesis/thesisExample.bib

   1 % This file was created with JabRef 2.5.
   2 % Encoding: Cp1252
   3
   4 @ARTICLE{Abgr07,
   5   author = {P. Abgrall and A.-M. Gué},
   6   title = {Lab-on-chip technologies: making a microfluidic network and coupling
   7         it into a complete microsystem---a review},
   8   journal = {J. Micromech. Microeng.},
   9   year = {2007},
  10   volume = {17},
  11   pages = {R15\,-\,R49},
  12   doi = {10.1088/0960-1317/17/5/R01},
  13   file = {Abgrall07-Review.pdf:Photolacke\\Abgrall07-Review.pdf:PDF},
  14   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/17/5/R01}
  15 }
  16
  17 @ARTICLE{Abgr06,
  18   author = {P. Abgrall and others},
  19   title = {A novel fabrication method of flexible and monolithic {3D microfluidic
  20         structures using lamination of SU-8} films},
  21   journal = {J. Micromech. Microeng.},
  22   year = {2006},
  23   volume = {16},
  24   pages = {113\,-\,121},
  25   doi = {10.1088/0960-1317/16/1/016},
  26   file = {SU-8-selbst-hergestellt.pdf:Photolacke\\SU-8-selbst-hergestellt.pdf:PDF},
  27   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/16/1/016}
  28 }
  29
  30 @ARTICLE{Abol05,
  31   author = {S.N. Abolmasov and T. Shirafuji and K. Tachibana},
  32   title = {Submillimeter Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure:
  33         Edge Effect},
  34   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
  35   year = {2005},
  36   volume = {33},
  37   pages = {941\,-\,948},
  38   doi = {10.1109/TPS.2005.845093},
  39   file = {Abolmasov-submillimeter-discharge-2005.pdf:DBD\\Abolmasov-submillimeter-discharge-2005.pdf:PDF},
  40   review = {Priorität 1
  41
  42         Gute Berechnungsgrundlage, noch zwei Bücher der Literaturliste besorgen.},
  43   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2005.845093}
  44 }
  45
  46 @ARTICLE{Akis03,
  47   author = {Yu.S. Akishev and A.V. Dem\textrm{'}yanov and V.B. Karal\textrm{'}nik
  48         and A.E. Monich and N.I. Trushkin},
  49   title = {Comparison of the AC Barrier Corona with DC Positive and Negative
  50         Coronas and Barrier Discharge},
  51   journal = {Plasma Physics Reports},
  52   year = {2003},
  53   volume = {29},
  54   pages = {90\,-\,100},
  55   doi = {10.1134/1.1538505},
  56   file = {Akishev-Comparison-BC-dischages-2003.pdf:DBD\\Akishev-Comparison-BC-dischages-2003.pdf:PDF},
  57   url = {http://www.triniti.ru/CTF\&VM/Articles/Demyanov3.pdf}
  58 }
  59
  60 @ARTICLE{Baba01,
  61   author = {S.E. Babayan and others},
  62   title = {Deposition of silicon dioxide films with a non-equilibrium atmospheric-pressure
  63         plasma jet},
  64   journal = {Plasma Sources Sci. Technol.},
  65   year = {2001},
  66   volume = {10},
  67   pages = {573\,-\,578},
  68   number = {4},
  69   doi = {10.1088/0963-0252/10/4/305},
  70   file = {:DBD\\Babayan-SiOx-2001.pdf:PDF},
  71   publisher = {Bristol, UK: IOP Pub.; Woodbury, NY: American Institute of Physics,
  72         c1991-},
  73   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/10/4/305}
  74 }
  75
  76 @ARTICLE{Beck06,
  77   author = {K.H. Becker and K.H. Schoenbach and J.G. Eden},
  78   title = {Microplasmas and applications},
  79   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
  80   year = {2006},
  81   volume = {39},
  82   pages = {R55\,-\,R70},
  83   doi = {10.1088/0022-3727/39/3/R01},
  84   file = {:DBD\\Becker_Overview microplasmas-2006.pdf:PDF},
  85   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/39/3/R01}
  86 }
  87
  88 @ARTICLE{Bile04,
  89   author = {B. Bilenberg and T. Nielsen and B. Clausen and A. Kristensen},
  90   title = {PMMA to SU-8 bonding for polymer based lab-on-a-chip systems with
  91         integrated optics},
  92   journal = {J. Micromech. Microeng.},
  93   year = {2004},
  94   volume = {14},
  95   pages = {814\,-\,818},
  96   doi = {10.1088/0960-1317/14/6/008},
  97   file = {Bile04.pdf:Photolacke\\Bile04.pdf:PDF},
  98   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/6/008}
  99 }
 100
 101 @ARTICLE{Blan04,
 102   author = {F. J. Blanco and others},
 103   title = {Novel three-dimensional embedded {SU-8} microchannels fabricated
 104         using a low temperature full wafer adhesive bonding},
 105   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 106   year = {2004},
 107   volume = {14},
 108   pages = {1047\,-\,1056},
 109   doi = {10.1088/0960-1317/14/7/027},
 110   file = {Blan04.pdf:Photolacke\\Blan04.pdf:PDF},
 111   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/7/027}
 112 }
 113
 114 @ARTICLE{Boga02,
 115   author = {A. Bogaerts and E. Neyts and R. Gijbels and J. van der Mullen},
 116   title = {Gas discharge plasmas and their applications},
 117   journal = {Spectrochim. Acta. B Atom. Spectros.},
 118   year = {2002},
 119   volume = {57},
 120   pages = {609--658},
 121   number = {4},
 122   doi = {10.1016/S0584-8547(01)00406-2},
 123   file = {:Allgemein\\2002_gas discharge plasmas and their applications.pdf:PDF},
 124   publisher = {Elsevier},
 125   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0584-8547(01)00406-2}{http://dx.doi.org/10.1016/S0584-8547(01)00406-2}}
 126 }
 127
 128 @BOOK{Bohl1989,
 129   title = {Technische Strömungslehre},
 130   publisher = {Vogel-Verlag, Würzburg},
 131   year = {1989},
 132   author = {Willi Bohl},
 133   edition = {8th},
 134   url = {http://www.worldcat.org/oclc/315749265}
 135 }
 136
 137 @ARTICLE{Bran07,
 138   author = {R. Brandenburg and others},
 139   title = {Antimicrobial Treatment of Heat Sensitive Materials by Means of Atmospheric
 140         Pressure {Rf}-Driven Plasma Jet},
 141   journal = {Contrib. Plasma Phys.},
 142   year = {2007},
 143   volume = {47},
 144   pages = {72\,-\,79},
 145   doi = {10.1002/ctpp.200710011},
 146   file = {:DBD\\Brandenburg07-PlasmaJet-microbial.pdf:PDF},
 147   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.200710011}
 148 }
 149
 150 @ARTICLE{Bran05,
 151   author = {R. Brandenburg and H.-E. Wagner and A.M. Morozov and K.V. Kozlov},
 152   title = {Axial and radial development of microdischarges of barrier discharges
 153         in {N2/O2} mixtures at atmospheric pressure},
 154   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
 155   year = {2005},
 156   volume = {38},
 157   pages = {1649\,-\,1657},
 158   number = {11},
 159   doi = {10.1088/0022-3727/38/11/003},
 160   file = {:DBD\\Brandenburg-DBD-characteristics-05.pdf:PDF},
 161   publisher = {London: The Institute of Physics and The Physical Society.},
 162   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/38/11/003}
 163 }
 164
 165 @CONFERENCE{Brea09,
 166   author = {M.C. Breadmore and E. Candish and R.M. Guijt},
 167   title = {Dry film photoresist, saving time and money without compromising
 168         on performance},
 169   booktitle = {\textmu TAS 2009},
 170   year = {2009}
 171 }
 172
 173 @BOOK{Bruu08,
 174   title = {Theoretical Microfluidics},
 175   publisher = {Oxford University Press},
 176   year = {2008},
 177   author = {Henrik Bruus},
 178   url = {http://www.worldcat.org/oclc/176807166}
 179 }
 180
 181 @ARTICLE{Bull01,
 182   author = {N.A. Bullett and others},
 183   title = {Direct imaging of plasma-polymerized chemical micropatterns},
 184   journal = {Surf. Interface Anal.},
 185   year = {2001},
 186   volume = {31},
 187   pages = {1074\,-\,1076},
 188   number = {11},
 189   doi = {10.1002/sia.1146},
 190   file = {:DBD\\Bullett-SEM mask pattern-2001.pdf:PDF},
 191   url = {http://dx.doi.org/10.1002/sia.1146}
 192 }
 193
 194 @ARTICLE{Carl04,
 195   author = {J. Carlier and others},
 196   title = {Integrated microfluidics based on multi-layered SU-8 for mass spectrometry
 197         analysis},
 198   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 199   year = {2004},
 200   volume = {14},
 201   pages = {619\,-\,624},
 202   doi = {10.1088/0960-1317/14/4/024},
 203   file = {Carlier04.pdf:Photolacke\\Carlier04.pdf:PDF},
 204   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/4/024}
 205 }
 206
 207 @ARTICLE{Carl1977,
 208   author = {Carlsson, DJ and Garton, A. and Wiles, DM},
 209   title = {The weatherability of polypropylene monofilaments. Effects of fiber
 210         production conditions},
 211   journal = {Journal of Applied Polymer Science},
 212   year = {1977},
 213   volume = {21},
 214   pages = {2963\,-\,2978},
 215   number = {11},
 216   doi = {10.1002/app.1977.070211112},
 217   file = {:DBD\\Carlsson-PP-oxidation-1977.pdf:PDF},
 218   publisher = {Wiley Subscription Services, Inc., A Wiley Company New York},
 219   url = {http://dx.doi.org/10.1002/app.1977.070211112}
 220 }
 221
 222 @ARTICLE{Carr1903,
 223   author = {W.R. Carr},
 224   title = {On the Laws Governing Electric Discharges in Gases at Low Pressures},
 225   journal = {Phil. Trans. Roy. Soc. Lond. Math. Phys. Sci.},
 226   year = {1903},
 227   volume = {201},
 228   pages = {403-433},
 229   doi = {10.1098/rsta.1903.0020},
 230   file = {:DBD\\Carr-Electric dischare at low pressure-1903.pdf:PDF},
 231   url = {http://dx.doi.org/10.1098/rsta.1903.0020}
 232 }
 233
 234 @ARTICLE{Chang00,
 235   author = {H.-K. Chang and Y.-K. Kim},
 236   title = {{UV-LIGA process for high aspect ratio structure using stress barrier
 237         and C-shaped etch hole}},
 238   journal = {Sensors and Actuators A},
 239   year = {2000},
 240   volume = {84},
 241   pages = {342\,-\,350},
 242   doi = {10.1016/S0924-4247(00)00408-8},
 243   file = {SU-8-Aspektverhaeltnis-Springer.pdf:Photolacke\\SU-8-Aspektverhaeltnis-Springer.pdf:PDF},
 244   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0924-4247(00)00408-8}{http://dx.doi.org/10.1016/S0924-4247(00)00408-8}}
 245 }
 246
 247 @ARTICLE{Char1967,
 248   author = {F.M. Charbonnier and C.J. Bennette and L.W.~Swanson},
 249   title = {Electrical Breakdown between Metal Electrodes in High Vacuum. I.
 250         Theory},
 251   journal = {J. Appl. Phys.},
 252   year = {1967},
 253   volume = {38},
 254   pages = {627\,-\,633},
 255   doi = {10.1063/1.1709385},
 256   file = {:DBD\\Charbonnier-Breakdown-1967.pdf:PDF},
 257   publisher = {AIP},
 258   url = {http://dx.doi.org/10.1063/1.1709385}
 259 }
 260
 261 @ARTICLE{Char1967-2,
 262   author = {F.M. Charbonnier and C.J. Bennette and L.W. Swanson},
 263   title = {Electrical Breakdown between Metal Electrodes in High Vacuum. II.
 264         Experimental},
 265   journal = {J. Appl. Phys.},
 266   year = {1967},
 267   volume = {38},
 268   pages = {634\,-\,640},
 269   doi = {10.1063/1.1709386},
 270   file = {:DBD\\Charbonnier-Breakdown-1967-2.pdf:PDF},
 271   publisher = {AIP},
 272   url = {http://dx.doi.org/10.1063/1.1709386}
 273 }
 274
 275 @ARTICLE{Coog1996,
 276   author = {J.J. Coogan and A.D. Sappey},
 277   title = {Distribution of {OH} within silent discharge plasma reactors},
 278   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 279   year = {1996},
 280   volume = {24},
 281   pages = {91\,-\,92},
 282   number = {1},
 283   doi = {10.1109/27.491706},
 284   file = {:DBD\\Coogan-FilamentDiameter-1996.pdf:PDF},
 285   url = {http://dx.doi.org/10.1109/27.491706}
 286 }
 287
 288 @ARTICLE{Cutl1993,
 289   author = {P. Cutler},
 290   title = {Theory of electron emission in high fields from atomically sharp
 291         emitters: Validity of the Fowler-Nordheim equation},
 292   journal = {Progress in Surface Science},
 293   year = {1993},
 294   volume = {42},
 295   pages = {169\,-\,185},
 296   number = {1-4},
 297   doi = {10.1016/0079-6816(93)90068-7},
 298   file = {:DBD\\Cutler-Emission in high fields-1993.pdf:PDF},
 299   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/0079-6816(93)90068-7}{http://dx.doi.org/10.1016/0079-6816(93)90068-7}}
 300 }
 301
 302 @BOOK{Davi1998,
 303   title = {Metals handbook: desk edition},
 304   publisher = {ASM International},
 305   year = {1998},
 306   author = {J.R. Davis},
 307   pages = {1128},
 308   edition = {2nd}
 309 }
 310
 311 @ARTICLE{Dikm04,
 312   author = {A.J. Dikmans and others},
 313   title = {A new compact disc format of high density array synthesis applied
 314         to peptide nucleic acids and in situ {MALDI} analysis},
 315   journal = {Molecular diversity},
 316   year = {2004},
 317   volume = {8},
 318   pages = {197\,-\,207},
 319   number = {3},
 320   doi = {10.1023/B:MODI.0000036234.66238.4e},
 321   file = {:Allgemein\\Dikmans-Amino-array-2004.pdf:PDF},
 322   url = {http://dx.doi.org/10.1023/B:MODI.0000036234.66238.4e}
 323 }
 324
 325 @PHDTHESIS{Dora02,
 326   author = {Rajesh Dorai},
 327   title = {Modeling of Atmospheric Pressure Plasma Processing of Gases and Surfaces},
 328   school = {University of Illinois at Urbana-Champaign},
 329   year = {2002},
 330   file = {:DBD\\Dorai-plasma-reactions-2002.pdf:PDF},
 331   url = {http://uigelz.eecs.umich.edu/pub/theses/rajesh_phd_thesis.pdf}
 332 }
 333
 334 @ARTICLE{Dora03,
 335   author = {R. Dorai and M.J. Kushner},
 336   title = {A model for plasma modification of polypropylene using atmospheric
 337         pressure discharges},
 338   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys},
 339   year = {2003},
 340   volume = {36},
 341   pages = {666\,-\,685},
 342   number = {6},
 343   doi = {10.1088/0022-3727/36/6/309},
 344   file = {:DBD\\Dorai-PP-Surface-chemistry-2003.pdf:PDF},
 345   publisher = {IOP PUBLISHING LTD},
 346   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/36/6/309}
 347 }
 348
 349 @ARTICLE{Dush1923,
 350   author = {S. Dushman},
 351   title = {Electron Emission from Metals as a Function of Temperature},
 352   journal = {Physical Review},
 353   year = {1923},
 354   volume = {21},
 355   pages = {623\,-\,636},
 356   doi = {10.1103/PhysRev.21.623},
 357   file = {:DBD\\Dushman-Thermionic-Emission-1923.pdf:PDF},
 358   publisher = {APS},
 359   url = {http://dx.doi.org/10.1103/PhysRev.21.623}
 360 }
 361
 362 @ARTICLE{Eden03,
 363   author = {J.G. Eden and others},
 364   title = {Microplasma devices fabricated in silicon, ceramic, and metal/polymer
 365         structures: arrays, emitters and photodetectors},
 366   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
 367   year = {2003},
 368   volume = {36},
 369   pages = {2869\,-\,2877},
 370   doi = {10.1088/0022-3727/36/23/001},
 371   file = {:DBD\\Eden-Cavity Silicon-2003.pdf:PDF},
 372   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/36/23/001}
 373 }
 374
 375 @CONFERENCE{Eich05,
 376   author = {M. Eichler and M. Thomas and H. Mewes and C.-P. Klages},
 377   title = {{Ortsselektive Atmosphärendruck-Plasmavorbehandlung für das Direkt-Wafer-Bonden
 378         bei niedrigen Temperaturen}},
 379   booktitle = {Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg.
 380         Berlin: VDE-Verlag, 2005, pp. 115-118},
 381   year = {2005},
 382   file = {Waferbonden_Eichler.pdf:DBD\\Waferbonden_Eichler.pdf:PDF},
 383   url = {http://www.vde-verlag.de/data/buecher.php?action=bookdetail\&vertriebsnr=562926}
 384 }
 385
 386 @ARTICLE{Elia1991,
 387   author = {B. Eliasson and U. Kogelschatz},
 388   title = {Modeling and applications of silent discharge plasmas},
 389   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 390   year = {1991},
 391   volume = {19},
 392   pages = {309\,-\,323},
 393   number = {2},
 394   doi = {10.1109/27.106829},
 395   file = {:DBD\\Eliasson-Modelling-1991.pdf:PDF},
 396   url = {http://dx.doi.org/10.1109/27.106829}
 397 }
 398
 399 @ARTICLE{Klei03,
 400   author = {F.Kleinschmidt, U.Stöhr, K.Saalwächter and others},
 401   title = {NMR Spectroscopy Characterization and Self-Diffusion Study of Partially
 402         Swollen Polymer Networks.},
 403   journal = {Macromol. Chem. Phys.},
 404   year = {2003},
 405   volume = {204},
 406   pages = {F24\,-\,F25}
 407 }
 408
 409 @INPROCEEDINGS{Fahl01,
 410   author = {M. Fahland and C. Charton and V. Kirchhoff and U. Stöhr},
 411   title = {Deposition of multilayer optical coatings onto plastic webs by pulse
 412         magnetron sputtering; challenges and opportunities},
 413   booktitle = {Proceedings 6th. International Symposium on Sputtering and Plasma
 414         Processes (ISSP), p. 189, Kanazawa, Japan},
 415   year = {2001},
 416   file = {:Allgemein\\Fahrland-Sputtering-2001.pdf:PDF}
 417 }
 418
 419 @CONFERENCE{Flac02,
 420   author = {W.W. Flack and H.A. Nguyen and E. Capsuto},
 421   title = {Characterization of a novel photoresist redistribution material for
 422         advanced packaging applications},
 423   booktitle = {Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE) Conference
 424         Series},
 425   year = {2002},
 426   volume = {4690},
 427   pages = {1203\,-\,1216},
 428   doi = {10.1117/12.474198},
 429   file = {:Photolacke\\SINR-resist-2002.pdf:PDF},
 430   url = {http://dx.doi.org/10.1117/12.474198}
 431 }
 432
 433 @ARTICLE{Forb1999,
 434   author = {R.G. Forbes},
 435   title = {Refining the application of Fowler-Nordheim theory},
 436   journal = {Ultramicroscopy},
 437   year = {1999},
 438   volume = {79},
 439   pages = {11\,-\,23},
 440   doi = {10.1016/S0304-3991(99)00097-2},
 441   file = {:DBD\\Forbes - Refining the application of Fowler-Nordheim theory.pdf:PDF},
 442   url = {http://dx.doi.org/10.1016/S0304-3991(99)00097-2}
 443 }
 444
 445 @ARTICLE{Fowl1928,
 446   author = {R.H. Fowler and L. Nordheim},
 447   title = {Electron Emission in Intense Electric Fields},
 448   journal = {Proceedings of the Royal Society of London. Series A, Containing
 449         Papers of a Mathematical and Physical Character},
 450   year = {1928},
 451   volume = {119},
 452   pages = {173\,-\,181},
 453   number = {781},
 454   month = {May},
 455   file = {:DBD\\Fowler-Nordheim-1928.pdf:PDF},
 456   url = {http://www.jstor.org/pss/95023}
 457 }
 458
 459 @ARTICLE{Gabo1993,
 460   author = {S.R. Gaboury and M.W. Urban},
 461   title = {Microwave plasma reactions of solid monomers with silicone elastomer
 462         surfaces: a spectroscopic study},
 463   journal = {Langmuir},
 464   year = {1993},
 465   volume = {9},
 466   pages = {3225\,-\,3233},
 467   number = {11},
 468   doi = {10.1021/la00035a076},
 469   file = {:DBD\\Gaboury-Epoxy-on-PDMS-1993.pdf:PDF},
 470   publisher = {American Chemical Society},
 471   url = {http://dx.doi.org/10.1021/la00035a076}
 472 }
 473
 474 @MISC{GEKA,
 475   author = {{GEKA~mbH}},
 476   title = {Destroying chemical warfare agents and contaminated military waste},
 477   howpublished = {Internet: http://www.geka-munster.de/Seiten-engl/vernichtung/plasma-index.html
 478         (accessed 06-09-2009)},
 479   owner = {usti},
 480   url = {http://www.geka-munster.de/Seiten-engl/vernichtung/plasma-index.html}
 481 }
 482
 483 @MASTERSTHESIS{Gerb03,
 484   author = {M. Gerbracht},
 485   title = {{Trocknung dicker Photoresistschichten mittels unterschiedlicher
 486         Trocknungsverfahren}},
 487   school = {Fachhochschule Düsseldorf},
 488   year = {2003},
 489   type = {Diplomarbeit},
 490   file = {:Photolacke\\Resiste_Diplomarbeit_Gerbracht.pdf:PDF}
 491 }
 492
 493 @INPROCEEDINGS{Golub02-2,
 494   author = {Yu.B. Golubovskii and V.A. Maiorov v J. Behnke and J.F. Behnke},
 495   title = {Stability of the barrier discharge relative to the filamentation},
 496   booktitle = {Proc. of 16th ESCAMPIG/5th ICRP (Grenoble, France, 14-18 July 2002),
 497         Vol. 1, p. 235-236},
 498   year = {2002},
 499   file = {Golubovskii02-Filament-stability.pdf:DBD\\Golubovskii02-Filament-stability.pdf:PDF},
 500   url = {http://optics.phys.spbu.ru/~golub/articles/barrier2d\_16ESCAMPIG.pdf}
 501 }
 502
 503 @ARTICLE{Golub03,
 504   author = {Yu.B. Golubovskii and V.A. Maiorov and J. Behnke and J.F. Behnke},
 505   title = {Modelling of the homogeneous barrier discharge in helium at atmospheric
 506         pressure},
 507   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
 508   year = {2003},
 509   volume = {36},
 510   pages = {39\,-\,49},
 511   doi = {10.1088/0022-3727/36/1/306},
 512   file = {DBD_Heliumatmosphäre_Golubovskii03.pdf:DBD_Heliumatmosphäre_Golubovskii03.pdf:PDF},
 513   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/36/1/306}
 514 }
 515
 516 @INPROCEEDINGS{Golub01,
 517   author = {Yu.B. Golubovskii and V.A. Maiorov and J. Behnke and J.F. Behnke},
 518   title = {The role of emission from the dielectric surface in a homogeneous
 519         barrier discharge in nitrogen},
 520   booktitle = {Proc. of 15th Int. Symp. on Plasma Chemistry (Orléans, France, 10-13
 521         July 2001) vol VIII p 3239-3244},
 522   year = {2001},
 523   file = {DBD_EmissionenausDielektrikum_Golubovskii01.pdf:DBD\\DBD_EmissionenausDielektrikum_Golubovskii01.pdf:PDF},
 524   url = {http://optics.phys.spbu.ru/~golub/articles/DBD\_ISPC15.pdf}
 525 }
 526
 527 @MISC{Filament,
 528   author = {Yu. B. Golubovskii},
 529   howpublished = {Internet:\newline http://optics.phys.spbu.ru/\textasciitilde{}golub/images/filament.jpg
 530         (accessed 07-09-2009)},
 531   owner = {usti},
 532   url = {http://optics.phys.spbu.ru/~golub/images/filament.jpg}
 533 }
 534
 535 @INPROCEEDINGS{Golub02,
 536   author = {Yu. B. Golubovskii and V. A. Maiorov and J. Behnke and J. F. Behnke},
 537   title = {Some Aspects of the Modeling of an Uniform Barrier Discharge in Nitrogen},
 538   booktitle = {Proc. of 16th ESCAMPIG/5th ICRP (Grenoble, France, 14-18 July 2002),
 539         Vol. 1, p. 233-234},
 540   year = {2002},
 541   file = {DBD_N2Atmosphäre_Golubovskii02.pdf:DBD\\DBD_N2Atmosphäre_Golubovskii02.pdf:PDF},
 542   url = {http://optics.phys.spbu.ru/~golub/articles/DBD\_N2\_16ESCAMPIG.pdf}
 543 }
 544
 545 @MISC{GolubWeb,
 546   author = {Yu. B. Golubovskii and others},
 547   title = {Homogeneous barrier discharge},
 548   howpublished = {Internet: http://optics.phys.spbu.ru/\textasciitilde{}golub/english/barrier.html},
 549   url = {http://optics.phys.spbu.ru/~golub/english/barrier.html}
 550 }
 551
 552 @ARTICLE{Goos1998,
 553   author = {A. Goossens and E.L. Maloney and J Schoonman},
 554   title = {Gas-Phase Synthesis of Nanostructured Anatase $\mathrm{TiO_2}$},
 555   journal = {Chemical Vapor Deposition},
 556   year = {1998},
 557   volume = {4},
 558   pages = {109\,-\,114},
 559   number = {3},
 560   doi = {10.1002/(SICI)1521-3862(199805)04:03<109::AID-CVDE109>3.0.CO;2-U},
 561   file = {:DBD\\Goossens-TiCl4-1998.pdf:PDF},
 562   publisher = {WILEY-VCH Verlag GmbH Weinheim},
 563   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1002/(SICI)1521-3862(199805)04:03<109::AID-CVDE109>3.0.CO;2-U}{http://dx.doi.org/10.1002/(SICI)1521-3862(199805)04:03<109::AID-CVDE109>3.0.CO;2-U}}
 564 }
 565
 566 @ARTICLE{Graz08,
 567   author = {I. Graz and A. Ebner and S. Bauer and C. Romanin and H. Gruber},
 568   title = {Micropatterned atmospheric pressure discharge surface modification
 569         of fluorinated polymer films for mammalian cell adhesion and protein
 570         binding},
 571   journal = {Appl. Phys. A},
 572   year = {2008},
 573   volume = {92},
 574   pages = {547\,-\,555},
 575   doi = {10.1007/s00339-008-4614-z},
 576   file = {:DBD\\Graz-Patterned surface treatment-2008.pdf:PDF},
 577   url = {http://dx.doi.org/10.1007/s00339-008-4614-z}
 578 }
 579
 580 @ARTICLE{Han04,
 581   author = {M. Han and W. Lee and S.-K. Lee and S.S. Lee},
 582   title = {{3D microfabrication with inclined/rotated UV lithography}},
 583   journal = {Sensors and Actuators A},
 584   year = {2003},
 585   volume = {111},
 586   pages = {14\,-\,20},
 587   doi = {10.1016/j.sna.2003.10.006},
 588   file = {Rotated UV.pdf:Photolacke\\Rotated UV.pdf:PDF},
 589   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2003.10.006}
 590 }
 591
 592 @ARTICLE{Hand00,
 593   author = {K. Handique and D.T. Burke and C.H. Mastrangelo and M.A. Burns},
 594   title = {{Nanoliter liquid metering in microchannels using hydrophobic patterns}},
 595   journal = {Anal. Chem.},
 596   year = {2000},
 597   volume = {72},
 598   pages = {4100\,-\,4109},
 599   number = {17},
 600   doi = {10.1021/ac000064s},
 601   file = {:Allgemein\\Handique-hydrophobic-channels-2000.pdf:PDF},
 602   url = {http://dx.doi.org/10.1021/ac000064s}
 603 }
 604
 605 @ARTICLE{Hei04,
 606   author = {M. Heise and W. Neff and O. Franken and P. Muranyi and J. Wunderlich},
 607   title = {Sterilization of Polymer Foils with Dielectric Barrier Discharges
 608         at Atmospheric Pressure},
 609   journal = {Plasmas polym.},
 610   year = {2004},
 611   volume = {9},
 612   pages = {23\,-\,33},
 613   doi = {10.1023/B:PAPO.0000039814.70172.c0},
 614   file = {DBD_Sterilisation_Heise2004.pdf:DBD\\DBD_Sterilisation_Heise2004.pdf:PDF},
 615   url = {http://dx.doi.org/10.1023/B:PAPO.0000039814.70172.c0}
 616 }
 617
 618 @ARTICLE{Hens07,
 619   author = {K. Hensel and others},
 620   title = {Electrical and Optical Properties of {AC} Microdischarges in Porous
 621         Ceramics},
 622   journal = {Plasma Process. Polym.},
 623   year = {2007},
 624   volume = {4},
 625   pages = {682\,-\,693},
 626   doi = {10.1002/ppap.200700022},
 627   file = {:DBD\\Hensel-DBD-in-Ceramics-2007.pdf:PDF},
 628   publisher = {WILEY-VCH Verlag Weinheim},
 629   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200700022}
 630 }
 631
 632 @ARTICLE{Heul04,
 633   author = {M. Heule and U.P. Schönholzer and L.J. Gauckler},
 634   title = {Patterning colloidal suspensions by selective wetting of microcontact-printed
 635         surfaces},
 636   journal = {J. Eur. Ceram. Soc.},
 637   year = {2003},
 638   volume = {24},
 639   pages = {2733\,-\,2739},
 640   doi = {10.1016/j.jeurceramsoc.2003.09.011},
 641   file = {:DBD\\Heule2004.pdf:PDF},
 642   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2003.09.011}
 643 }
 644
 645 @ARTICLE{Heusch1998,
 646   author = {M.O. Heuschkel and L. Guérin and B. Buisson and D. Bertrand and P.
 647         Renaud},
 648   title = {Buried microchannels in photopolymer for delivering of solutions
 649         to neurons in a network},
 650   journal = {Sensors and Actuators B},
 651   year = {1998},
 652   volume = {48},
 653   pages = {356\,-\,361},
 654   doi = {10.1016/S0925-4005(98)00071-9},
 655   file = {buried microchannels in photopolymer.pdf:Photolacke\\buried microchannels in photopolymer.pdf:PDF},
 656   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(98)00071-9}{http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(98)00071-9}}
 657 }
 658
 659 @ARTICLE{Ho04,
 660   author = {K.H. Ho and S.T. Newman and S. Rahimifard and R.D. Allen},
 661   title = {State of the art in wire electrical discharge machining {(WEDM)}},
 662   journal = {Int. J. Mach. Tool. Manufact.},
 663   year = {2004},
 664   volume = {44},
 665   pages = {1247\,-\,1259},
 666   number = {12\,-\,13},
 667   doi = {10.1016/j.ijmachtools.2004.04.017},
 668   publisher = {Elsevier},
 669   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.ijmachtools.2004.04.017}
 670 }
 671
 672 @ARTICLE{Inag1998,
 673   author = {N. Inagaki and S. Tasaka and M. Makino},
 674   title = {Plasma polymer deposition from mixture of tetramethoxysilane and
 675         oxygen on {PET} films and their oxygen gas barrier properties},
 676   journal = {J. Appl. Polym. Sci.},
 677   year = {1998},
 678   volume = {64},
 679   pages = {1031\,-\,1039},
 680   number = {6},
 681   doi = {10.1002/%28SICI%291097-4628%2819970509%2964%3A6%3C1031%3A%3AAID-APP1%3E3.0.CO%3B2-M},
 682   file = {:DBD\\Inagaki-SiOx-oxygen-barrier-1996.pdf:PDF},
 683   url = {http://dx.doi.org/10.1002/\%28SICI\%291097-4628\%2819970509\%2964\%3A6\%3C1031\%3A\%3AAID-APP1\%3E3.0.CO\%3B2-M}
 684 }
 685
 686 @ARTICLE{Ito07,
 687   author = {T. Ito and others},
 688   title = {Characterization of a microfluidic device fabricated using a photosensitive
 689         sheet},
 690   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 691   year = {2007},
 692   volume = {17},
 693   pages = {432\,-\,438},
 694   doi = {10.1088/0960-1317/17/3/003},
 695   file = {Ito07.pdf:Photolacke\\Ito07.pdf:PDF},
 696   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/17/3/003}
 697 }
 698
 699 @ARTICLE{Jack01,
 700   author = {R.J. Jackman and T.M. Floyd and R. Ghodssi and M.A. Schmidt and K.F.
 701         Jensen},
 702   title = {Microfluidic systems with on-line UV detection fabricated in photodefinable
 703         epoxy},
 704   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 705   year = {2001},
 706   volume = {11},
 707   pages = {1\,-\,8},
 708   doi = {10.1088/0960-1317/11/3/316},
 709   file = {Jack01.pdf:Photolacke\\Jack01.pdf:PDF},
 710   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/11/3/316}
 711 }
 712
 713 @ARTICLE{Jens03,
 714   author = {K.L. Jensen},
 715   title = {Electron emission theory and its application: Fowler--Nordheim equation
 716         and beyond},
 717   journal = {J. Vac. Sci. Technol. B},
 718   year = {2003},
 719   volume = {21(4)},
 720   pages = {1528\,-\,1544},
 721   doi = {10.1116/1.1573664},
 722   file = {:DBD\\2003_Electron emission theory and its application.pdf:PDF},
 723   url = {http://dx.doi.org/10.1116/1.1573664}
 724 }
 725
 726 @ARTICLE{Jens02,
 727   author = {K.L. Jensen},
 728   title = {Theory of Field Emission},
 729   journal = {Vacuum Microelectronics},
 730   year = {2002},
 731   volume = {Chapter 3},
 732   pages = {33\,-\,104},
 733   doi = {10.1002/0471224332.ch3},
 734   url = {http://dx.doi.org/10.1002/0471224332.ch3}
 735 }
 736
 737 @ARTICLE{Jide06,
 738   author = {N. Jidenko and M. Petit and J.P. Borra},
 739   title = {Electrical characterization of microdischarges produced by dielectric
 740         barrier discharge in dry air at atmospheric pressure},
 741   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
 742   year = {2006},
 743   volume = {39},
 744   pages = {281\,-\,293},
 745   number = {2},
 746   doi = {10.1088/0022-3727/39/2/008},
 747   file = {:DBD\\Jidenko-Plasma-Control-2006.pdf:PDF},
 748   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/39/2/008}
 749 }
 750
 751 @ARTICLE{Jigu06,
 752   author = {S. Jigueta and M. Judelewicza and S. Mischlerb and A. Bertchc and
 753         P. Renaudc},
 754   title = {Effect of filler behavior on nanocomposite {SU8} photoresist for
 755         moving micro-parts},
 756   journal = {Microelectron. Eng.},
 757   year = {2006},
 758   volume = {83},
 759   pages = {1273\,-\,1276},
 760   doi = {10.1016/j.mee.2006.01.068},
 761   file = {Jiguet_SU-8_filler.pdf:Photolacke\\Jiguet_SU-8_filler.pdf:PDF},
 762   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2006.01.068}
 763 }
 764
 765 @ARTICLE{Kang03,
 766   author = {W.S. Kang and J.M. Park and Y. Kim and S.H. Hong},
 767   title = {Numerical study on influences of barrier arrangements on dielectric
 768         barrier discharge characteristics},
 769   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 770   year = {2003},
 771   volume = {31},
 772   pages = {504\,-\,510},
 773   number = {4},
 774   doi = {10.1109/TPS.2003.815469},
 775   file = {:DBD\\Kang-StreamerSimulations-2003.pdf:PDF},
 776   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2003.815469}
 777 }
 778
 779 @ARTICLE{Kawa1969,
 780   author = {H. Kawauchi and K. Tuzimura and H. Maeda and N. Ishida},
 781   title = {Reaction of fluorescein-isothiocyanate with proteins and amino acids:
 782         {II.} Preparation of FIuorescein-Thiohydantoin Amino Acids and Their
 783         Thin-layer Chromatography},
 784   journal = {Journal of Biochemistry},
 785   year = {1969},
 786   volume = {66},
 787   pages = {783\,-\,789},
 788   number = {6},
 789   file = {:Allgemein\\Kawauchi-FITC-reaction-1969.pdf:PDF},
 790   publisher = {Jpn Biochemical Soc},
 791   url = {http://jb.oxfordjournals.org/cgi/content/abstract/66/6/783}
 792 }
 793
 794 @INPROCEEDINGS{Kien04,
 795   author = {J. Kieninger and G. Jobst and G. Igel and I. Moser and G. Urban},
 796   title = {{3D} Polymer Microstructures by Laminating {SU-8} Films},
 797   booktitle = {{Proceedings of \textmu TAS 2004}},
 798   year = {2004},
 799   volume = {2},
 800   pages = {363\,-\,365},
 801   file = {:Photolacke\\Kieninger-Manuscript_microTAS04_SU.-8pdf.pdf:PDF}
 802 }
 803
 804 @ARTICLE{Kim04,
 805   author = {K. Kim and others},
 806   title = {{A tapered hollow metallic microneedle array using backside exposure
 807         of SU-8}},
 808   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 809   year = {2004},
 810   volume = {14},
 811   pages = {597\,-\,603},
 812   doi = {10.1088/0960-1317/14/4/021},
 813   file = {Hollow Needles.pdf:Photolacke\\Hollow Needles.pdf:PDF},
 814   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/4/021}
 815 }
 816
 817 @ARTICLE{Kim03,
 818   author = {S.-O. Kim and J.G. Eden},
 819   title = {Arrays of Microplasma Devices Fabricated in Photodefinable Glass
 820         and Excited {AC or DC} by Interdigitated Electrodes},
 821   journal = {IEEE Photonics Technology Letters},
 822   year = {2005},
 823   volume = {17},
 824   pages = {1543\,-\,1545},
 825   doi = {10.1109/LPT.2005.848260},
 826   file = {:DBD\\Kim-Cavity Array Foturan-2005.pdf:PDF},
 827   url = {http://dx.doi.org/10.1109/LPT.2005.848260}
 828 }
 829
 830 @INPROCEEDINGS{Kim08,
 831   author = {Y.K. Kim and D. J. Kim},
 832   title = {Deposition of super hydrophobic {a-C:F} films by dielectric barrier
 833         discharge at atmospheric pressure},
 834   booktitle = {Book of Abstract of 11th International Conference on Plasma Surface
 835         Engineering PSE 2008},
 836   year = {2008},
 837   file = {:DBD\\Kim-CxFy-surface-DBD-2008.pdf:PDF},
 838   url = {http://www.pse2008.net/pdf\_edit/tmp/PO1063-PSE2008-2f1418.pdf}
 839 }
 840
 841 @ARTICLE{Klag07-2,
 842   author = {C.P. Klages and C. Berger and M. Eichler and M. Thomas},
 843   title = {Microplasma-Based Treatment of Inner Surfaces in Microfluidic Devices},
 844   journal = {Contributions to Plasma Physics},
 845   year = {2007},
 846   volume = {47},
 847   pages = {49\,-\,56},
 848   doi = {10.1002/ctpp.200710008},
 849   file = {:DBD\\Klages-plasmaprinting-channels-2007.pdf:PDF},
 850   publisher = {WILEY-VCH Verlag Berlin},
 851   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ctpp.200710008}
 852 }
 853
 854 @ARTICLE{Klag00,
 855   author = {C.P. Klages and K. Höpfner and N. Kläke and R. Thyen},
 856   title = {Surface functionalization at atmospheric pressure by {DBD}-based
 857         pulsed plasma polymerization},
 858   journal = {Plasmas and Polymers},
 859   year = {2000},
 860   volume = {5},
 861   pages = {79\,-\,89},
 862   number = {2},
 863   doi = {10.1023/A:1009583815474},
 864   file = {:DBD\\Klages-Epoxy-groups-2000.pdf:PDF},
 865   publisher = {Springer},
 866   url = {\newline http://dx.doi.org/10.1023/A:1009583815474}
 867 }
 868
 869 @ARTICLE{Klag07,
 870   author = {C.P. Klages and others},
 871   title = {Surface Technology with Cold Microplasmas},
 872   journal = {Plasma Process. Polym.},
 873   year = {2007},
 874   volume = {4},
 875   pages = {208\,-\,218},
 876   number = {3},
 877   doi = {10.1002/ppap.200600116},
 878   file = {:DBD\\Klages-Overview-07.pdf:PDF},
 879   publisher = {John Wiley \& Sons, Ltd},
 880   url = {\newline http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200600116}
 881 }
 882
 883 @ARTICLE{Kogel03,
 884   author = {U. Kogelschatz},
 885   title = {Dielectric-barrier Discharges: Their History, Discharge Physics,
 886         and Industrial Applications},
 887   journal = {Plasma Chem. Plasma Process.},
 888   year = {2003},
 889   volume = {23},
 890   pages = {1\,-\,46},
 891   doi = {10.1023/A:1022470901385},
 892   file = {kogelschatz.pdf:DBD\\kogelschatz.pdf:PDF},
 893   url = {http://dx.doi.org/10.1023/A:1022470901385}
 894 }
 895
 896 @ARTICLE{Kogel02,
 897   author = {U. Kogelschatz},
 898   title = {Filamentary, Patterned, and Diffuse Barrier Discharges},
 899   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 900   year = {2002},
 901   volume = {30},
 902   pages = {1400\,-\,1408},
 903   number = {4},
 904   doi = {10.1109/TPS.2002.804201},
 905   file = {:DBD\\Kogelschatz-Filaments-2002.pdf:PDF},
 906   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2002.804201}
 907 }
 908
 909 @ARTICLE{Koid07,
 910   author = {T. Koida and H. Fujiwara and M. Kondo},
 911   title = {Hydrogen-doped $\mathrm{In_{2}O_{3}}$ as High-mobility Transparent
 912         Conductive Oxide},
 913   journal = {Jpn. J. Appl. Phys.},
 914   year = {2007},
 915   volume = {46},
 916   pages = {L685\,-\,L687},
 917   number = {28},
 918   doi = {10.1143/JJAP.46.L685},
 919   file = {:Allgemein\\Koida-ITO-2007.pdf:PDF},
 920   url = {http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.46.L685}
 921 }
 922
 923 @ARTICLE{Kozl05,
 924   author = {K.V. Kozlov and others},
 925   title = {Barrier discharges in {N2/O}2 mixtures},
 926   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
 927   year = {2005},
 928   volume = {38},
 929   pages = {518\,-\,529},
 930   doi = {10.1088/0022-3727/38/4/003},
 931   file = {:DBD\\Kozlov-oxygen-impurity-2005.pdf:PDF},
 932   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/38/4/003}
 933 }
 934
 935 @ARTICLE{Krei05,
 936   author = {S. Kreitz and C. Penache and M. Thomas and C.-P. Klages},
 937   title = {Patterned {DBD} treatment for area-selective metallization of polymers-plasma
 938         printing},
 939   journal = {Surf. Coat. Technol.},
 940   year = {2005},
 941   volume = {200},
 942   pages = {676\,-\,679},
 943   doi = {10.1016/j.surfcoat.2005.01.085},
 944   file = {:DBD\\Kreitz05-Patterned DBD treatment.pdf:PDF},
 945   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.01.085}
 946 }
 947
 948 @ARTICLE{Kukh03,
 949   author = {E. Kukharenka and M.M. Farooqui and L. Grigore and M. Kraft and N.
 950         Hollinshead},
 951   title = {Electroplating moulds using dry film thick negative photoresist.},
 952   journal = {J. Micromech. Microeng.},
 953   year = {2003},
 954   volume = {13},
 955   pages = {S67\,-\,S74},
 956   doi = {10.1088/0960-1317/13/4/311},
 957   file = {Ordyl-1.pdf:Photolacke\\Ordyl-1.pdf:PDF},
 958   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/13/4/311}
 959 }
 960
 961 @ARTICLE{Kunh00,
 962   author = {E.E. Kunhardt},
 963   title = {Generation of Large-Volume, Atmospheric-Pressure, Nonequilibrium
 964         Plasmas},
 965   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 966   year = {2000},
 967   volume = {28},
 968   pages = {189\,-\,200},
 969   doi = {10.1109/27.842901},
 970   file = {:DBD\\Kunhardt00-Frequency-Ignition.pdf:PDF},
 971   url = {http://dx.doi.org/10.1109/27.842901}
 972 }
 973
 974 @ARTICLE{Kwak03,
 975   author = {M.G. Kwak and others},
 976   title = {Improvement of Luminance Efficiency in Xenon Dielectric Barrier Discharge
 977         Flat Lamp},
 978   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
 979   year = {2003},
 980   volume = {31},
 981   pages = {176\,-\, 178},
 982   doi = {10.1109/TPS.2003.808867},
 983   file = {Kwak-Xenon-Lamp-2002.pdf:DBD\\Kwak-Xenon-Lamp-2002.pdf:PDF},
 984   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2003.808867}
 985 }
 986
 987 @ARTICLE{Lang05,
 988   author = {B.A. Langowski and K.E. Uhrich},
 989   title = {Microscale Plasma-Initiated Patterning (\textmu {PIP})},
 990   journal = {Langmuir},
 991   year = {2005},
 992   volume = {21},
 993   pages = {10509\,-\,10514},
 994   doi = {10.1021/la052222m},
 995   file = {:DBD\\Langowski-PDMS plasma patterning-2005.pdf:PDF},
 996   url = {\newline http://dx.doi.org/10.1021/la052222m}
 997 }
 998
 999 @UNPUBLISHED{Lede08,
1000   author = {L. Ledernez and F. Olcaytug and G. Urban and H. Yasuda},
1001   title = {Influence of the Electrode Material on the Electrical Breakdown of
1002         Argon},
1003   note = {accepted for Plasma Sources Science and Technology}
1004 }
1005
1006 @ARTICLE{Leve1944,
1007   author = {K. Levenberg},
1008   title = {A method for the solution of certain non-linear problems in least
1009         squares},
1010   journal = {Q. Appl. Math},
1011   year = {1944},
1012   volume = {2},
1013   pages = {164\,-\,168},
1014   number = {2}
1015 }
1016
1017 @ARTICLE{Lu08,
1018   author = {M. Lu and S.-J. Park and B.T. Cunningham and J.G. Eden},
1019   title = {Low temperature plasma channels generated in microcavity trenches
1020         with widths of 20\,-\,150\,\textmu{}m and aspect ratios as large
1021         as 10\textsuperscript{4}\,:\,1},
1022   journal = {Appl. Phys. Lett.},
1023   year = {2008},
1024   volume = {92},
1025   pages = {1397\,-\,1402},
1026   doi = {10.1063/1.2827197},
1027   file = {:DBD\\Lu-Plasma channels-2008.pdf:PDF},
1028   url = {http://dx.doi.org/10.1063/1.2827197}
1029 }
1030
1031 @ARTICLE{Lu07,
1032   author = {M. Lu and S.-J. Park and B.T. Cunningham and J.G. Eden},
1033   title = {Microcavity Plasma Devices and Arrays Fabricated by Plastic-Based
1034         Replica Molding},
1035   journal = {J. Microelectromech. Syst.},
1036   year = {2007},
1037   volume = {16},
1038   pages = {1397\,-\,1402},
1039   doi = {10.1109/JMEMS.2006.886034},
1040   file = {:DBD\\Lu-Microcavities by molding-2007.pdf:PDF},
1041   url = {http://dx.doi.org/10.1109/JMEMS.2006.886034}
1042 }
1043
1044 @PHDTHESIS{Luca09,
1045   author = {N. Lucas},
1046   title = {Microplasma Stamps - An Atmospheric-Pressure Plasma Source for the
1047         Area-Selective Modification of Surfaces},
1048   school = {Institute for Microtechnology, TU Braunschweig},
1049   year = {2009},
1050   url = {http://www.shaker.de/Online-Gesamtkatalog/details.asp?ID=8983398&CC=3631&ISBN=3-8322-8008-1}
1051 }
1052
1053 @ARTICLE{Luca08-2,
1054   author = {N. Lucas and V. Ermel and M. Kurrat and S. Büttgenbach},
1055   title = {Microplasma stamps for selective surface modification: design and
1056         characterization},
1057   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1058   year = {2008},
1059   volume = {41},
1060   pages = {215202 (7pp)},
1061   doi = {10.1088/0022-3727/41/21/215202},
1062   file = {:DBD\\Lucas-PDMS-Stamps-2.pdf:PDF},
1063   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/41/21/215202}
1064 }
1065
1066 @ARTICLE{Luca08-1,
1067   author = {N. Lucas and A. Hinze and C.-P. Klages and S. Büttgenbach},
1068   title = {Design and optimization of dielectric barrier discharge microplasma
1069         stamps},
1070   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1071   year = {2008},
1072   volume = {41},
1073   pages = {194012 (5pp)},
1074   doi = {10.1088/0022-3727/41/19/194012},
1075   file = {:DBD\\Lucas-PDMS-Stamps-1.pdf:PDF},
1076   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/41/19/194012}
1077 }
1078
1079 @ARTICLE{Malk08,
1080   author = {G.S. Malkov and others},
1081   title = {Pulsed-Plasma-Induced Micropatterning with Alternating Hydrophilic
1082         and Hydrophobic Surface Chemistries},
1083   journal = {Plasma Process. Polym.},
1084   year = {2008},
1085   volume = {5},
1086   pages = {129\,-\,145},
1087   number = {2},
1088   doi = {10.1002/ppap.200700118},
1089   file = {:DBD\\Malkov-SEM mask pattern-2008.pdf:PDF},
1090   publisher = {John Wiley \& Sons, Ltd},
1091   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200700118}
1092 }
1093
1094 @ARTICLE{Marq1963,
1095   author = {Donald W. Marquardt},
1096   title = {An Algorithm for Least-Squares Estimation of Nonlinear Parameters},
1097   journal = {SIAM Journal on Applied Mathematics},
1098   year = {1963},
1099   volume = {11},
1100   pages = {431\,-\,441},
1101   number = {2},
1102   doi = {10.1137/0111030},
1103   publisher = {SIAM},
1104   url = {http://dx.doi.org/10.1137\%2F0111030}
1105 }
1106
1107 @ARTICLE{Mart04,
1108   author = {C.R. Martin and I.A. Aksay},
1109   title = {Submicrometer-scale patterning of ceramic thin films},
1110   journal = {J. of Electroceramics},
1111   year = {2004},
1112   volume = {12},
1113   pages = {53\,-\,68},
1114   number = {1},
1115   doi = {10.1023/B:JECR.0000034001.15359.98},
1116   file = {:Allgemein\\Martin-Patterning-Ceramics-Overview-2004.pdf:PDF},
1117   publisher = {Springer},
1118   url = {http://dx.doi.org/10.1023/B:JECR.0000034001.15359.98}
1119 }
1120
1121 @ARTICLE{Mart1997,
1122   author = {C. Martinet and V. Paillard and A. Gagnaire and J. Joseph},
1123   title = {Deposition of $\mathrm{SiO_2}$ and $\mathrm{TiO_2}$ thin films by
1124         plasma enhanced chemical vapor deposition for antireflection coating},
1125   journal = {J. Non-Cryst. Solids},
1126   year = {1997},
1127   volume = {216},
1128   pages = {77\,-\,82},
1129   doi = {10.1016/S0022-3093(97)00175-0},
1130   file = {:DBD\\Martinet-SiO2-TiO2-1997.pdf:PDF},
1131   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0022-3093(97)00175-0}{http://dx.doi.org/10.1016/S0022-3093(97)00175-0}}
1132 }
1133
1134 @ARTICLE{Mass01,
1135   author = {F. Massines and others},
1136   title = {The role of dielectric barrier discharge atmosphere and physics on
1137         polypropylene surface treatment},
1138   journal = {Plasmas and Polymers},
1139   year = {2001},
1140   volume = {6},
1141   pages = {35\,-\,49},
1142   number = {1},
1143   doi = {10.1023/A:1011365306501},
1144   file = {:DBD\\Massines-oxygen-impurities-2001.pdf:PDF},
1145   url = {http://dx.doi.org/10.1023/A:1011365306501}
1146 }
1147
1148 @ARTICLE{Masu1998,
1149   author = {T. Masuzawa and T. Takawashi},
1150   title = {{Recent trends in EDM/ECM technologies in Japan}},
1151   journal = {VDI BERICHTE},
1152   year = {1998},
1153   volume = {1405},
1154   pages = {1\,-\,16},
1155   publisher = {VDI VERLAG GMBH}
1156 }
1157
1158 @ARTICLE{Mata06,
1159   author = {A. Mata and A.J. Fleischmann and S. Roy},
1160   title = {Fabrication of multi-layer {SU-8} microstructures},
1161   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1162   year = {2006},
1163   volume = {16},
1164   pages = {276\,-\,284},
1165   doi = {10.1088/0960-1317/16/2/012},
1166   file = {SU-8-Aspektverhaeltnis-jmm6_2_012.pdf:Photolacke\\SU-8-Aspektverhaeltnis-jmm6_2_012.pdf:PDF},
1167   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/16/2/012}
1168 }
1169
1170 @ARTICLE{Melz1996,
1171   author = {K.A. Melzak and C.S. Sherwood and R.F.B. Turner and C.A. Haynes},
1172   title = {Driving forces for {DNA} adsorption to silica in perchlorate solutions},
1173   journal = {J. Colloid Interface Sci.},
1174   year = {1996},
1175   volume = {181},
1176   pages = {635\,-\,644},
1177   number = {2},
1178   doi = {10.1006/jcis.1996.0421},
1179   file = {:Allgemein\\Melzak-DNA-SiOx-Adsorption-1996.pdf:PDF},
1180   publisher = {Elsevier},
1181   url = {\newline http://dx.doi.org/10.1006/jcis.1996.0421}
1182 }
1183
1184 @CONFERENCE{Menz02,
1185   author = {W. Menz and R. Förster and A. Schoth and C. Müller},
1186   title = {Non-conventional machining for microsystems},
1187   booktitle = {Proc. 3rd Euspen Int. Conf.},
1188   year = {2002},
1189   pages = {37}
1190 }
1191
1192 @ARTICLE{Mira00,
1193   author = {S.F. Miralaï and others},
1194   title = {Electrical and Optical Diagnostics of Dielectric Barrier Discharges
1195         {(DBD) in He and N2} for Polymer Treatment},
1196   journal = {Plasmas and Polymers},
1197   year = {2000},
1198   volume = {5},
1199   pages = {63\,-\,77},
1200   number = {2},
1201   doi = {10.1023/A:1009531831404},
1202   file = {:DBD\\Miralai-oxygen-impurity-2000.pdf:PDF},
1203   url = {http://dx.doi.org/10.1023/A:1009531831404}
1204 }
1205
1206 @INPROCEEDINGS{TOK06,
1207   author = {K. Misumi and others},
1208   title = {Faster sensitivity and non-antimonite permanent photoresist for {MEMS}},
1209   booktitle = {Advances in Resist Technology and Processing XXIII},
1210   year = {2006},
1211   editor = {Qinghuang Lin},
1212   volume = {6153},
1213   series = {Proceedings of SPIE},
1214   pages = {61534F},
1215   organization = {SPIE},
1216   doi = {10.1117/12.656249},
1217   file = {TOK-Faster Sensitivity and Non-Antimonite Permanent Photoresist for MEMS.pdf:Photolacke\\TOK-Faster Sensitivity and Non-Antimonite Permanent Photoresist for MEMS.pdf:PDF},
1218   url = {http://dx.doi.org/10.1117/12.656249}
1219 }
1220
1221 @ARTICLE{TOK06-2,
1222   author = {K. Misumi and K. Saito and A. Yamanouchi and T. Senzaki and H. Honma},
1223   title = {Minute Tunnel Structure Formation with Permanent Film Photoresist},
1224   journal = {J. Photopolym. Sci. Technol.},
1225   year = {2006},
1226   volume = {19},
1227   pages = {57\,-\,62},
1228   doi = {10.2494/photopolymer.19.57},
1229   file = {TOK-Minute tunnel structure formation with permanent film photoresist.pdf:Photolacke\\TOK-Minute tunnel structure formation with permanent film photoresist.pdf:PDF},
1230   url = {\newline http://dx.doi.org/10.2494/photopolymer.19.57}
1231 }
1232
1233 @ARTICLE{Mull1988,
1234   author = {W.M. Mullins and B.L. Averbach},
1235   title = {Surface properties of silicon and aluminum oxide powders},
1236   journal = {Surface Science},
1237   year = {1988},
1238   volume = {206},
1239   pages = {41\,-\,51},
1240   number = {1-2},
1241   doi = {10.1016/0039-6028(88)90013-1},
1242   file = {:DBD\\Mullins-Work function of AluOxide-1988.pdf:PDF},
1243   publisher = {Elsevier},
1244   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/0039-6028(88)90013-1}{http://dx.doi.org/10.1016/0039-6028(88)90013-1}}
1245 }
1246
1247 @ARTICLE{Murp1956,
1248   author = {E.L. Murphy and R.H. {Good, Jr.}},
1249   title = {Thermionic Emission, Field Emission, and the Transition Region},
1250   journal = {Phys. Rev.},
1251   year = {1956},
1252   volume = {102},
1253   pages = {1464 - 1473},
1254   doi = {10.1103/PhysRev.102.1464},
1255   file = {:DBD\\Murphy,Good - Thermionic Emission, Field Emission, and the Transition Region.pdf:PDF},
1256   url = {http://dx.doi.org/10.1103/PhysRev.102.1464}
1257 }
1258
1259 @ARTICLE{Muel1999,
1260   author = {I. Müller and C. Punset and E. Ammelt and H.-G. Purwins and J.P.
1261         Boeuf},
1262   title = {Self-Organized Filaments in Dielectric Barrier Glow Discharges},
1263   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
1264   year = {1999},
1265   volume = {27},
1266   pages = {20\,-\,21},
1267   doi = {10.1109/27.763004},
1268   file = {Müller-Filaments-glow-discharge-1999.pdf:DBD\\Müller-Filaments-glow-discharge-1999.pdf:PDF},
1269   url = {http://dx.doi.org/10.1109/27.763004}
1270 }
1271
1272 @ARTICLE{Naka01,
1273   author = {A. Nakajima and K. Hashimoto and T. Watanabe},
1274   title = {Recent studies on super-hydrophobic films},
1275   journal = {Monatshefte für Chemie\,/\,Chemical Monthly},
1276   year = {2001},
1277   volume = {132},
1278   pages = {31\,-\,41},
1279   doi = {10.1007/s007060170142},
1280   file = {:Allgemein\\TiO2-hydrophobic-Nakajima-2001.pdf:PDF},
1281   publisher = {Springer},
1282   url = {http://dx.doi.org/10.1007/s007060170142}
1283 }
1284
1285 @ARTICLE{Niem1995,
1286   author = {L. Niemeyer},
1287   title = {A generalized approach to partial discharge modeling},
1288   journal = {IEEE Transactions on Dielectrics and Electrical Insulation},
1289   year = {1995},
1290   volume = {2},
1291   pages = {510\,-\,528},
1292   number = {4},
1293   doi = {10.1109/94.407017},
1294   file = {:DBD\\Niemeyer 95 generalized approach partial discharges.pdf:PDF},
1295   url = {http://dx.doi.org/10.1109/94.407017}
1296 }
1297
1298 @ARTICLE{Noes04,
1299   author = {M. Noeske and J. Degenhardt and S. Strudthoff and U. Lommatzsch},
1300   title = {Plasma jet treatment of five polymers at atmospheric pressure: surface
1301         modifications and the relevance for adhesion},
1302   journal = {International Journal of Adhesion \& Adhesives},
1303   year = {2004},
1304   volume = {24},
1305   pages = {171\,-\,177},
1306   doi = {10.1016/j.ijadhadh.2003.09.006},
1307   file = {:DBD\\Noeske03-plasma jet treatment.pdf:PDF},
1308   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.ijadhadh.2003.09.006}
1309 }
1310
1311 @ARTICLE{Nord1928,
1312   author = {L. Nordheim},
1313   title = {Zur Theorie der thermischen Emission und der Reflexion von Elektronen
1314         an Metallen},
1315   journal = {Zeitschrift für Physik A Hadrons and Nuclei},
1316   year = {1928},
1317   volume = {46},
1318   pages = {833\,-\,855},
1319   number = {11\,-\,12},
1320   month = {November},
1321   doi = {10.1007/BF01391020},
1322   file = {:DBD\\Nordheim-1928.pdf:PDF},
1323   url = {http://dx.doi.org/10.1007/BF01391020}
1324 }
1325
1326 @CONFERENCE{Nuss09,
1327   author = {D. Nußbaum and D. Herrmann and T. Knoll and T. Velten},
1328   title = {Micromixing Structures for Lab-on Chip Applications: Fabrication
1329         and Simulation of 90° Zigzag Microchann els in Dry Film Resist},
1330   booktitle = {4M\,/\,ICOMM 2009 Conference},
1331   year = {2009},
1332   pages = {215\,-\,218},
1333   doi = {10.1243/17547164C0012009041},
1334   file = {:Photolacke\\Nußbaum-PerMX-2009.pdf:PDF},
1335   owner = {usti},
1336   url = {http://dx.doi.org/10.1243/17547164C0012009041}
1337 }
1338
1339 @ARTICLE{Obri01,
1340   author = {J. O'Brien},
1341   title = {Advanced photoresist technologies for microsystems},
1342   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1343   year = {2001},
1344   volume = {11},
1345   pages = {353\,-\,358},
1346   doi = {10.1088/0960-1317/11/4/312},
1347   file = {OBrien01.pdf:Photolacke\\OBrien01.pdf:PDF},
1348   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/11/4/312}
1349 }
1350
1351 @ARTICLE{Ohl1999,
1352   author = {A. Ohl and K. Schröder},
1353   title = {Plasma-induced chemical micropatterning for cell culturing applications:
1354         a brief review},
1355   journal = {Surf. Coat. Technol.},
1356   year = {1999},
1357   volume = {116},
1358   pages = {820\,-\,830},
1359   doi = {10.1016/S0257-8972(99)00150-4},
1360   file = {:DBD\\Ohl-SEM grid pattern-1999.pdf:PDF},
1361   publisher = {Elsevier},
1362   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00150-4}{http://dx.doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00150-4}}
1363 }
1364
1365 @PHDTHESIS{Olss1998,
1366   author = {Anders Olsson},
1367   title = {Valve-less Diffuser Micropumps},
1368   school = {School of Electrical Engineering, Royal Institute of Technology,
1369         Stockholm, Sweden},
1370   year = {1998},
1371   file = {:Allgemein\\1998 Valve-less diffuser micropumps.pdf:PDF},
1372   url = {http://www.s3.kth.se/instrlab/research/dissertations/pdf/andersodoc.pdf}
1373 }
1374
1375 @ARTICLE{Pan02,
1376   author = {C.-T. Pan and H. Yang and S.-C. Shen and M.-C. Chou and H.-P. Chou},
1377   title = {A low-temperature wafer bonding technique using patternable materials},
1378   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1379   year = {2002},
1380   volume = {12},
1381   pages = {611\,-\,615},
1382   doi = {10.1088/0960-1317/12/5/315},
1383   file = {Wafer-Bonding-Pan.pdf:Photolacke\\Wafer-Bonding-Pan.pdf:PDF},
1384   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/12/5/315}
1385 }
1386
1387 @ARTICLE{Park01,
1388   author = {J. Park and I. Henins and H.W. Herrmann and G.S. Selwyn},
1389   title = {Discharge phenomena of an atmospheric pressure radio-frequency capacitive
1390         plasma source},
1391   journal = {J. Appl. Phys.},
1392   year = {2001},
1393   volume = {89},
1394   pages = {20\,-\,28},
1395   doi = {10.1063/1.1323753},
1396   file = {:DBD\\Park01-Discharge phenomena.pdf:PDF},
1397   url = {http://dx.doi.org/10.1063/1.1323753}
1398 }
1399
1400 @ARTICLE{Park05,
1401   author = {S.-J. Park and K.S. Kim and J.G. Eden},
1402   title = {Nanoporous alumina as a dielectric for microcavity plasma devices:
1403         Multilayer {Al/AlO} structures},
1404   journal = {Appl. Phys. Lett.},
1405   year = {2005},
1406   volume = {86},
1407   pages = {221501},
1408   doi = {10.1063/1.1923747},
1409   file = {:DBD\\Park-Cavitiy Al2O3-2005.pdf:PDF},
1410   publisher = {AIP},
1411   url = {http://dx.doi.org/10.1063/1.1923747}
1412 }
1413
1414 @ARTICLE{Pasc1889,
1415   author = {F. Paschen},
1416   title = {{Ueber die zum Funkenübergang in Luft, Wasserstoff und Kohlensäure
1417         bei verschiedenen Drucken erforderliche Potentialdifferenz}},
1418   journal = {Annalen der Physik},
1419   year = {1889},
1420   volume = {273},
1421   pages = {69\,-\,96},
1422   number = {5},
1423   doi = {10.1002/andp.18892730505},
1424   file = {:DBD\\Paschen-1889.pdf:PDF},
1425   url = {http://dx.doi.org/10.1002/andp.18892730505}
1426 }
1427
1428 @ARTICLE{Payn02,
1429   author = {W.G. Payne and B.W. James and I.S. Falconer},
1430   title = {The Growth and Decay of Miniature Dielectric Barrier Discharges in
1431         Helium, Neon, and Argon},
1432   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
1433   year = {2002},
1434   volume = {30},
1435   pages = {170\,-\,171},
1436   doi = {10.1109/TPS.2002.1003978},
1437   file = {Payne-Discharge-Growth-2002.pdf:DBD\\Payne-Discharge-Growth-2002.pdf:PDF},
1438   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2002.1003978}
1439 }
1440
1441 @MISC{PCI,
1442   author = {{PCI-SIG}},
1443   title = {{PCI} Conventional specifications},
1444   howpublished = {Internet:\newline http://www.pcisig.com/specifications/conventional
1445         (accessed 08-01-2010)},
1446   url = {http://www.pcisig.com/specifications/conventional}
1447 }
1448
1449 @ARTICLE{Pena04,
1450   author = {C. Penache and C. Gessner and T. Betker and V. Bartels and C.-P.
1451         Klages},
1452   title = {Plasma printing: patterned surface functionalisation and coating
1453         at atmospheric pressure},
1454   journal = {IEE Proc.-Nanobiotechnol.},
1455   year = {2004},
1456   volume = {151},
1457   pages = {139\,-\,144},
1458   booktitle = {Proceedings. 2nd VDE World Microtechnologies Congress, October 13
1459         - 15, 2003},
1460   doi = {10.1049/ip-nbt:20040836},
1461   file = {:DBD\\Penache04-Printing.pdf:PDF},
1462   url = {http://dx.doi.org/10.1049/ip-nbt:20040836}
1463 }
1464
1465 @ARTICLE{Phel1999,
1466   author = {A.V. Phelps and Z.Lj. Petrovic},
1467   title = {Cold-cathode discharges and breakdown in argon: surface and gas phase
1468         production of secondary electrons},
1469   journal = {Plasma Sources Sci. Technol.},
1470   year = {1999},
1471   volume = {8},
1472   pages = {21\,-\,44},
1473   doi = {10.1088/0963-0252/8/3/201},
1474   file = {:DBD\\Phelps-Petrovic-Secondary-emission-1999.pdf:PDF},
1475   publisher = {IOP PUBLISHING},
1476   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/8/3/201}
1477 }
1478
1479 @INPROCEEDINGS{Rada07,
1480   author = {A.D. Radadia and L. Cao and H.-K. Jeong and M.A. Shannon and R.I.
1481         Masel},
1482   title = {A {3D} Micromoxer Fabricated with Dry Film Resist},
1483   booktitle = {Proc. of MEMS 2007},
1484   year = {2007},
1485   pages = {361\,-\,364},
1486   doi = {10.1109/MEMSYS.2007.4433110},
1487   file = {:Photolacke\\Radadia-3D micromixer-2007.pdf:PDF},
1488   url = {http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.2007.4433110}
1489 }
1490
1491 @ARTICLE{Radm07,
1492   author = {M. Radmilovic-Radjenovic and Z.L. Petrovic and B. Radjenovic},
1493   title = {Modelling of breakdown behavior by {PIC/MCC} code with improved secondary
1494         emission models},
1495   journal = {J. Phys.: Conf. Ser.},
1496   year = {2007},
1497   volume = {71},
1498   pages = {012007},
1499   number = {1},
1500   booktitle = {Journal of Physics: Conference Series},
1501   doi = {10.1088/1742-6596/71/1/012007},
1502   file = {:DBD\\Radjenovic-secondary-emisson-2007.pdf:PDF},
1503   url = {http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/71/1/012007}
1504 }
1505
1506 @ARTICLE{Radu03,
1507   author = {I. Radu and R. Bartnikas and G. Czeremuszkin and M.R. Wertheimer},
1508   title = {Diagnostics of Dielectric Barrier Discharges in Noble Gases: Atmospheric
1509         Pressure Glow and Pseudoglow Discharges and Spatio-Temporal Patterns},
1510   journal = {IEEE Trans. Plasma Sci.},
1511   year = {2003},
1512   volume = {31},
1513   pages = {411\,-\,421},
1514   number = {3},
1515   doi = {10.1109/TPS.2003.811647},
1516   file = {:DBD\\Radu-filament-noble-gases-2003.pdf:PDF},
1517   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TPS.2003.811647}
1518 }
1519
1520 @ARTICLE{Radu05,
1521   author = {I. Radu and R. Bartnikas and M.R. Wertheimer},
1522   title = {Diagnostics and modelling of noble gas atmospheric pressure dielectric
1523         barrier discharges in homogeneous or diverging electric fields},
1524   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1525   year = {2005},
1526   volume = {38},
1527   pages = {539\,-\,546},
1528   doi = {10.1088/0022-3727/38/4/005},
1529   file = {Radu-filament-noble-gases-2005.pdf:DBD\\Radu-filament-noble-gases-2005.pdf:PDF},
1530   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/38/4/005}
1531 }
1532
1533 @ARTICLE{Rao05,
1534   author = {R.B. Rao and K.L. Krafcik and A.M. Morales and J. Lewis},
1535   title = {Microfabricated deposition nozzles for direct-write assembly of three-dimensional
1536         periodic structures},
1537   journal = {Adv. Mater.},
1538   year = {2005},
1539   volume = {17},
1540   pages = {289\,-\,293},
1541   number = {3},
1542   doi = {10.1002/adma.200400514},
1543   file = {:Allgemein\\Rao-3D-ink-hexagonal-2005.pdf:PDF},
1544   publisher = {Wiley-VCH Verlag GmbH},
1545   url = {http://dx.doi.org/10.1002/adma.200400514}
1546 }
1547
1548 @BOOK{Rich1921,
1549   title = {The Emission of Electricity from Hot Bodies},
1550   publisher = {Longmans, Green and co.},
1551   year = {1921},
1552   author = {O.W. Richardson},
1553   url = {http://www.worldcat.org/wcpa/oclc/946804}
1554 }
1555
1556 @ARTICLE{Sarr06,
1557   author = {C. Sarra-Bournet and S. Turgeon and D. Mantovani and G. Laroche},
1558   title = {A study of atmospheric pressure plasma discharges for surface functionalization
1559         of {PTFE} used in biomedical applications},
1560   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1561   year = {2006},
1562   volume = {39},
1563   pages = {3461\,-\,3469},
1564   number = {16},
1565   doi = {10.1088/0022-3727/39/16/S03},
1566   file = {:DBD\\Sarra-Bournet-treatment-time-2006.pdf:PDF},
1567   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/39/16/S03}
1568 }
1569
1570 @ARTICLE{Sawa1995,
1571   author = {Y. Sawada and S. Ogawa and M. Kogoma},
1572   title = {Synthesis of plasma-polymerized tetraethoxysilane and hexamethyldisiloxane
1573         films prepared by atmospheric pressure glow discharge},
1574   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1575   year = {1995},
1576   volume = {28},
1577   pages = {1661\,-\,1661},
1578   doi = {10.1088/0022-3727/28/8/015},
1579   file = {:DBD\\Sawada-TEOS-SiOx-1995.pdf:PDF},
1580   publisher = {IOP PUBLISHING LTD},
1581   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/28/8/015}
1582 }
1583
1584 @ARTICLE{Sche07,
1585   author = {A. Schenk and others},
1586   title = {Microstructured Electrode Arrays: Optical analysis of the Glow Discharge
1587         in a Magnified Electrode Gap},
1588   journal = {Plasma Process. Polym.},
1589   year = {2007},
1590   volume = {4},
1591   pages = {S927\,-\,S930},
1592   doi = {10.1002/ppap.200732301},
1593   file = {:DBD\\Schenk-Optical-Analysis.pdf:PDF},
1594   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200732301}
1595 }
1596
1597 @ARTICLE{Scho04,
1598   author = {K.H. Schoenbach and M. Moselhy and W. Shi},
1599   title = {Self-organization in cathode boundary layer microdischarges},
1600   journal = {Plasma Sources Sci. Technol.},
1601   year = {2004},
1602   volume = {13},
1603   pages = {177\,-\,185},
1604   number = {1},
1605   doi = {10.1088/0963-0252/13/1/023},
1606   file = {:DBD\\Schoenbach-FilamentDiameter-2004.pdf:PDF},
1607   publisher = {Bristol, UK: IOP Pub.; Woodbury, NY: American Institute of Physics,
1608         c1991-},
1609   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/13/1/023}
1610 }
1611
1612 @ARTICLE{Scho1999,
1613   author = {U.P Schönholzer and L.J. Gauckler},
1614   title = {Ceramic parts patterned in the micrometer range},
1615   journal = {Adv. Mater.},
1616   year = {1999},
1617   volume = {11},
1618   pages = {630\,-\,632},
1619   number = {8},
1620   file = {:Allgemein\\Schoenholzer-KeramikStrukturiertSintern1-1999.pdf:PDF},
1621   publisher = {WILEY-VCH Verlag GmbH Weinheim},
1622   url = {\href{http://www.cheric.org/research/tech/periodicals/doi.php?art_seq=646499}{http://www.cheric.org/research/tech/periodicals/doi.php?art\_seq=\newline 646499}}
1623 }
1624
1625 @ARTICLE{Smit00,
1626   author = {R.C. Smith and others},
1627   title = {Chemical vapour deposition of the oxides of titanium, zirconium and
1628         hafnium for use as high-k materials in microelectronic devices. A
1629         carbon-free precursor for the synthesis of hafnium dioxide},
1630   journal = {Adv. Mater. Opt. and Electron.},
1631   year = {2000},
1632   volume = {10},
1633   pages = {105\,-\,114},
1634   number = {3-5},
1635   doi = {10.1002/1099-0712(200005/10)10:3/5<105::AID-AMO402>3.0.CO;2-J},
1636   file = {:DBD\\Smith-Ti-and-others-2000.pdf:PDF},
1637   publisher = {John Wiley \& Sons, Ltd. Chichester, UK},
1638   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1002/1099-0712(200005/10)10:3/5<105::AID-AMO402>3.0.CO;2-J}{http://dx.doi.org/10.1002/1099-0712(200005/10)10:3/5<105::AID-AMO402>3.0.CO;2-J}}
1639 }
1640
1641 @BOOK{Socr1994,
1642   title = {Infrared and Raman characteristic group frequencies: tables and charts},
1643   publisher = {John Wiley \& Sons},
1644   year = {1994},
1645   author = {G. Socrates},
1646   edition = {2nd}
1647 }
1648
1649 @MISC{Lightning,
1650   author = {J. R. Southern},
1651   title = {Toronto thunderstorm},
1652   howpublished = {Internet: \newline http://en.wikipedia.org/wiki/File:Krunkwerke\_-\_IMG\_4515\_\%28by-sa\%29.jpg
1653         (accessed 07-09-2009)},
1654   url = {http://en.wikipedia.org/wiki/File:Krunkwerke_-_IMG_4515_%28by-sa%29.jpg}
1655 }
1656
1657 @CONFERENCE{Stal07,
1658   author = {O. Stalter and B. Burger and S. Lehrmann},
1659   title = {{Silicon Carbide (SiC) D-MOS for grid-feeding solar-inverters}},
1660   booktitle = {European Conference on Power Electronics and Applications, 2007},
1661   year = {2007},
1662   pages = {1\,-\,10},
1663   doi = {10.1109/EPE.2007.4417654},
1664   file = {:Allgemein\\Stalter-SiC-Inverters-2007.pdf:PDF},
1665   url = {http://dx.doi.org/10.1109/EPE.2007.4417654}
1666 }
1667
1668 @ARTICLE{Star06,
1669   author = {S.M. Starikovskaia},
1670   title = {Plasma assisted ignition and combustion},
1671   journal = {J. Phys. D: Appl. Phys.},
1672   year = {2006},
1673   volume = {39},
1674   pages = {R265\,-\,R299},
1675   number = {16},
1676   doi = {10.1088/0022-3727/39/16/R01},
1677   file = {:DBD\\Starikovskaia-Streamer-overview-2006.pdf:PDF},
1678   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0022-3727/39/16/R01}
1679 }
1680
1681 @ARTICLE{Step07,
1682   author = {K. Stephan and others},
1683   title = {Fast prototyping using a dry film photoresist: microfabrication of
1684         soft-lithography masters for microfluidic structures},
1685   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1686   year = {2007},
1687   volume = {17},
1688   pages = {N69\,-\,N74},
1689   doi = {10.1088/0960-1317/17/10/N01},
1690   file = {:Photolacke\\Stephan-DFR-Etertec-HQ-2007.pdf:PDF},
1691   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/17/10/N01}
1692 }
1693
1694 @ARTICLE{Stoe10,
1695   author = {U. Stöhr and others},
1696   title = {Porous photoresist stamps for selective plasma treatment},
1697   journal = {Plasma Processes Polym.},
1698   year = {2010},
1699   volume = {7},
1700   pages = {9\,-\,15},
1701   number = {1},
1702   doi = {10.1002/ppap.200900063},
1703   file = {:DBD\\Stöhr-PlasmaStampSinterMetal-2010.pdf:PDF},
1704   url = {\newline http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200900063}
1705 }
1706
1707 @ARTICLE{Stoe09,
1708   author = {Uwe Stöhr and others},
1709   title = {Multilayer Photoresist Stamps for Selective Plasma Treatment in Micrometer
1710         Scales},
1711   journal = {Plasma Process. Polym.},
1712   year = {2009},
1713   volume = {6},
1714   pages = {228\,-\,233},
1715   number = {4},
1716   doi = {10.1002/ppap.200800217},
1717   file = {:DBD\\PlasmaPaper-Photoresist-finally-printed.pdf:PDF},
1718   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200800217}
1719 }
1720
1721 @ARTICLE{Stoe08,
1722   author = {U. Stöhr and P. Vulto and P. Hoppe and G. Urban and H. Reinecke},
1723   title = {High-resolution permanent photoresist laminate for microsystem applications},
1724   journal = {J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS},
1725   year = {2008},
1726   volume = {7},
1727   pages = {033009},
1728   doi = {10.1117/1.2964217},
1729   file = {:Photolacke\\TMMFPaperSPIE-2Draft.pdf:PDF},
1730   url = {http://dx.doi.org/10.1117/1.2964217}
1731 }
1732
1733 @ARTICLE{Suk07,
1734   author = {J.W. Suk and J. Cho},
1735   title = {Capillary flow control using hydrophobic patterns},
1736   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1737   year = {2007},
1738   volume = {17},
1739   pages = {N11\,-\,N15},
1740   number = {4},
1741   doi = {10.1088/0960-1317/17/4/N01},
1742   file = {:Allgemein\\Suk-hydrophobic-channels-2007.pdf:PDF},
1743   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/17/4/N01}
1744 }
1745
1746 @ARTICLE{Tan06,
1747   author = {H.M.L. Tan and T. Akagi and T. Ichiki},
1748   title = {Localized Plasma Treatment of Poly(dimethylsiloxane) Surfaces and
1749         Its Application to Controlled Cell Cultivation},
1750   journal = {J. Photopolym. Sci. Technol.},
1751   year = {2006},
1752   volume = {19},
1753   pages = {245\,-\,250},
1754   doi = {10.2494/photopolymer.19.245},
1755   file = {:DBD\\Tan06-Plasmajet.pdf:PDF},
1756   url = {http://dx.doi.org/10.2494/photopolymer.19.245}
1757 }
1758
1759 @MISC{LyX,
1760   author = {{The LyX Team}},
1761   title = {LyX 1.6.x},
1762   howpublished = {Internet: http://www.lyx.org},
1763   url = {http://www.lyx.org}
1764 }
1765
1766 @ARTICLE{Ther03,
1767   author = {D. Therriault and S.R. White and J.A. Lewis},
1768   title = {Chaotic mixing in three-dimensional microvascular networks fabricated
1769         by direct-write assembly},
1770   journal = {Nature Materials},
1771   year = {2003},
1772   volume = {2},
1773   pages = {265\,-\,271},
1774   number = {4},
1775   doi = {10.1038/nmat863},
1776   file = {:Allgemein\\Therriault-Ink-Channels-2003.pdf:PDF},
1777   publisher = {Nature Publishing Group},
1778   url = {http://dx.doi.org/10.1038/nmat863}
1779 }
1780
1781 @INPROCEEDINGS{Thom06,
1782   author = {M. Thomas and M. Eichler and C.-P. Klages},
1783   title = {Coating with Atmospheric Pressure Plasma Processes: From Large Area
1784         to \textmu{}-Structures},
1785   booktitle = {49th Annual Technical Conference Proceedings},
1786   year = {2006},
1787   organization = {Society of Vacuum Coaters},
1788   url = {http://tinyurl.com/Thomas06}
1789 }
1790
1791 @ARTICLE{Thom07,
1792   author = {M. Thomas and M. von Hausen and C.-P. Klages and P. Baumhof},
1793   title = {Generation of Stable Coatings with Carboxylic Groups by Copolymerization
1794         of {MAA} and {VTMS} using {DBD} at Atmospheric Pressure},
1795   journal = {Plasma Process. Polym.},
1796   year = {2007},
1797   volume = {4},
1798   pages = {S475\,-\,S481},
1799   doi = {10.1002/ppap.200731210},
1800   file = {:DBD\\Thomas-Carboxy-groups-2007.pdf:PDF},
1801   publisher = {WILEY-VCH Verlag Weinheim},
1802   url = {http://dx.doi.org/10.1002/ppap.200731210}
1803 }
1804
1805 @BOOK{Town1915,
1806   title = {Electricity in Gases},
1807   publisher = {Clarendon Press},
1808   year = {1915},
1809   author = {J.S. Townsend},
1810   url = {http://www.worldcat.org/wcpa/oclc/4294747}
1811 }
1812
1813 @BOOK{Town1910,
1814   title = {The Theory of Ionization of Gases by Collision},
1815   publisher = {Constable},
1816   year = {1910},
1817   author = {J.S. Townsend},
1818   url = {http://www.worldcat.org/wcpa/oclc/8460026}
1819 }
1820
1821 @ARTICLE{Tsai06-2,
1822   author = {Y.-C. Tsai and H.-P. Jen and K.-W. Lin and Y.-Z. Hsie},
1823   title = {Fabrication of microfluidic devices using dry film photoresist for
1824         microchip capillary electrophoresis},
1825   journal = {J. Chromatogr. A},
1826   year = {2006},
1827   volume = {1111},
1828   pages = {267\,-\,271},
1829   doi = {0.1016/j.chroma.2005.12.003},
1830   file = {AF-5000-Photolack-2.pdf:Photolacke\\AF-5000-Photolack-2.pdf:PDF},
1831   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.chroma.2005.12.003}
1832 }
1833
1834 @ARTICLE{Tsai06-1,
1835   author = {Y.-C. Tsai and S.-J. Yang and H.-T. Lee and H.-P. Jen and Y.-Z. Hsieh},
1836   title = {Fabrication of a Flexible and Disposable Microreactor Using a Dry
1837         Film Photoresist},
1838   journal = {J. Chin. Chem. Soc.},
1839   year = {2006},
1840   volume = {53},
1841   pages = {683\,-\,688},
1842   file = {AF-5000-Photolack.pdf:Photolacke\\AF-5000-Photolack.pdf:PDF},
1843   url = {http://nr.stpi.org.tw/ejournal/ChiChemSociety/2006/EJ52-2006-683.pdf}
1844 }
1845
1846 @ARTICLE{Uden1972,
1847   author = {S. Udenfriend and others},
1848   title = {Fluorescamine: A Reagent for Assay of Amino Acids, Peptides, Proteins,
1849         and Primary Amines in the Picomole Range},
1850   journal = {Science},
1851   year = {1972},
1852   volume = {178},
1853   pages = {871\,-\,872},
1854   doi = {10.1126/science.178.4063.871},
1855   file = {:Allgemein\\Udenfriend-Fluorescamine-1972.pdf:PDF},
1856   url = {http://dx.doi.org/10.1126/science.178.4063.871}
1857 }
1858
1859 @ARTICLE{Velt05,
1860   author = {T. Velten and others},
1861   title = {Packaging of Bio-MEMS: Strategies, Technologies, and Applications},
1862   journal = {IEEE trans. adv. packag.},
1863   year = {2005},
1864   volume = {28},
1865   pages = {533\,-\,546},
1866   doi = {10.1109/TADVP.2005.858427},
1867   file = {Velten05-review.pdf:Photolacke\\Velten05-review.pdf:PDF},
1868   url = {http://dx.doi.org/10.1109/TADVP.2005.858427}
1869 }
1870
1871 @ARTICLE{Vora05,
1872   author = {K.D. Vora and B.Y. Shew and E.C. Harvey and J.P. Hayes and A.G. Peele},
1873   title = {{Specification of mechanical support structures to prevent SU-8 stiction
1874         in high aspect ratio structures}},
1875   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1876   year = {2005},
1877   volume = {15},
1878   pages = {978\,-\,983},
1879   doi = {10.1088/0960-1317/15/5/012},
1880   file = {SU-8-Aspektverhaeltnis-jmm2005.pdf:Photolacke\\SU-8-Aspektverhaeltnis-jmm2005.pdf:PDF},
1881   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/15/5/012}
1882 }
1883
1884 @CONFERENCE{Vult07,
1885   author = {P. Vulto and G. Igel and G.A. Urban},
1886   title = {Full wafer fabrication process for microfluidic glass chips with
1887         electroplated electrodes},
1888   booktitle = {Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007.
1889         TRANSDUCERS 2007.},
1890   year = {2007},
1891   pages = {117\,-\,120},
1892   doi = {10.1109/SENSOR.2007.4300085},
1893   file = {:Photolacke\\Vult07.pdf:PDF},
1894   journal = {Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007.
1895         TRANSDUCERS 2007.},
1896   url = {http://ieeexplore.ieee.org/xpls/abs\_all.jsp?arnumber=4300085}
1897 }
1898
1899 @INPROCEEDINGS{Vult06-2,
1900   author = {P. Vulto and C. Klaunick and G. Igel and G. Urban},
1901   title = {{tmRNA} purification by electrophoretic filtration for genomic identification
1902         of bacteria on-a-chip},
1903   booktitle = {Proceedings of \textmu{}TAS 2006},
1904   year = {2006},
1905   volume = {2},
1906   pages = {377\,-\,379},
1907   file = {:Photolacke\\tmRNA purification - MicroTAS2006.pdf:PDF}
1908 }
1909
1910 @ARTICLE{Vult06,
1911   author = {P. Vulto and others},
1912   title = {Selective sample recovery of DEP-separated cells and particles by
1913         phaseguide-controlled laminar flow},
1914   journal = {J. Micromech. Microeng.},
1915   year = {2006},
1916   volume = {16},
1917   pages = {1847\,-\,1853},
1918   doi = {10.1088/0960-1317/16/9/013},
1919   file = {Vult06.pdf:Photolacke\\Vult06.pdf:PDF},
1920   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/16/9/013}
1921 }
1922
1923 @ARTICLE{Vult05,
1924   author = {P. Vulto and others},
1925   title = {Microfluidic channel fabrication in dry film resist for production
1926         and prototyping of hybrid chips},
1927   journal = {Lab on a Chip},
1928   year = {2005},
1929   volume = {5},
1930   pages = {158\,-\,162},
1931   doi = {10.1039/b411885e},
1932   file = {Vulto-Ordyl.pdf:Photolacke\\Vulto-Ordyl.pdf:PDF},
1933   url = {http://dx.doi.org/10.1039/b411885e}
1934 }
1935
1936 @ARTICLE{Wang06,
1937   author = {C. Wang and X. He},
1938   title = {Polypropylene surface modification model in atmospheric pressure
1939         dielectric barrier discharge},
1940   journal = {Surface \& Coatings Technology},
1941   year = {2006},
1942   volume = {201},
1943   pages = {3377\,-\,3384},
1944   number = {6},
1945   doi = {10.1016/j.surfcoat.2006.07.205},
1946   file = {:DBD\\Wang-PP-Contact-Angle-2006.pdf:PDF},
1947   publisher = {Elsevier},
1948   url = {http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.205}
1949 }
1950
1951 @CONFERENCE{Wash05,
1952   author = {Y. Washio and others},
1953   title = {Multilayer ultra thick resist development for {MEMS}},
1954   booktitle = {Proceedings of SPIE},
1955   year = {2005},
1956   volume = {5753},
1957   pages = {959},
1958   doi = {10.1117/12.600227},
1959   url = {http://dx.doi.org/10.1117/12.600227}
1960 }
1961
1962 @ARTICLE{Will04,
1963   author = {J.D. Williams and W. Wang},
1964   title = {Microfabrication of an electromagnetic power relay using {SU-8 based
1965         UV-LIGA} technology},
1966   journal = {Microsystem Technologies},
1967   year = {2004},
1968   volume = {10},
1969   pages = {699\,-\,705},
1970   doi = {10.1007/s00542-004-0396-1},
1971   file = {SU-8-Aspektverhaeltnis-2.pdf:Photolacke\\SU-8-Aspektverhaeltnis-2.pdf:PDF},
1972   url = {http://dx.doi.org/10.1007/s00542-004-0396-1}
1973 }
1974
1975 @ARTICLE{Xu07,
1976   author = {X. Xu and L. Li and S. Wang and L. Zhao and T. Ye},
1977   title = {Deposition of $\mathrm{SiO_x}$ films with a capacitively-coupled
1978         plasma at atmospheric pressure},
1979   journal = {Plasma Sources Sci. Technol.},
1980   year = {2007},
1981   volume = {16},
1982   pages = {372\,-\,376},
1983   number = {2},
1984   doi = {10.1088/0963-0252/16/2/021},
1985   file = {:DBD\\Xu-SiOx-DBD-2007.pdf:PDF},
1986   publisher = {Bristol, UK: IOP Pub.; Woodbury, NY: American Institute of Physics,
1987         c1991-},
1988   url = {http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/16/2/021}
1989 }
1990
1991 @ARTICLE{Yama1996,
1992   author = {K. Yamada and T. Haraguchi and T. Kajiyama},
1993   title = {Plasma-graft polymerization of vinyl monomers with reactive groups
1994         onto a surface of poly (p-phenylene terephthalamide) fiber},
1995   journal = {J. Appl. Polym. Sci.},
1996   year = {1996},
1997   volume = {60},
1998   pages = {1847\,-\,1853},
1999   number = {11},
2000   doi = {10.1002/(SICI)1097-4628(19960613)60:11<1847::AID-APP8>3.0.CO;2-L},
2001   file = {:DBD\\Yamada-epoxy-grafting-1996.pdf:PDF},
2002   publisher = {Wiley Subscription Services, Inc., A Wiley Company New York},
2003   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1002/(SICI)1097-4628(19960613)60:11<1847::AID-APP8>3.0.CO;2-L}{http://dx.doi.org/10.1002/(SICI)1097-4628(19960613)60:11<1847::AID-APP8>3.0.CO;2-L}}
2004 }
2005
2006 @BOOK{Yasu05,
2007   title = {Luminous Chemical Vapor Deposition and Interface Engineering},
2008   publisher = {Marcel Dekker},
2009   year = {2005},
2010   editor = {Arthur T. Hubbard},
2011   author = {Hirotsugu Yasuda},
2012   volume = {122},
2013   series = {Surfactant Science Series},
2014   edition = {1st}
2015 }
2016
2017 @ARTICLE{Yu06,
2018   author = {L. Yu and others},
2019   title = {Adhesive bonding with SU-8 at wafer level for microfluidic devices},
2020   journal = {J. Phys.: Conf. Ser.},
2021   year = {2006},
2022   volume = {34},
2023   pages = {776\,-\,781},
2024   doi = {10.1088/1742-6596/34/1/128},
2025   file = {Yu06.pdf:Photolacke\\Yu06.pdf:PDF},
2026   url = {http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/34/1/128}
2027 }
2028
2029 @ARTICLE{Zhan04,
2030   author = {J. Zhang and M.B. Chan-Park and S.R. Conner},
2031   title = {Effect of exposure dose on the replication fidelity and profile of
2032         very high aspect ratio microchannels in {SU-8}},
2033   journal = {Lab on a Chip},
2034   year = {2004},
2035   volume = {4},
2036   pages = {646\,-\,653},
2037   doi = {10.1039/b403304c},
2038   file = {SU-8-Aspektverhaeltnis-Theorie.pdf:Photolacke\\SU-8-Aspektverhaeltnis-Theorie.pdf:PDF},
2039   url = {http://dx.doi.org/10.1039/b403304c}
2040 }
2041
2042 @ARTICLE{Zhan1995,
2043   author = {J. Zhang. and K. Kato and Y. Uyama and Y. Ikada},
2044   title = {Surface graft polymerization of glycidyl methacrylate onto polyethylene
2045         and the adhesion with epoxy resin},
2046   journal = {J. Polymer Sci. Polymer Chem.},
2047   year = {1995},
2048   volume = {33},
2049   pages = {2629\,-\,2638},
2050   number = {15},
2051   doi = {10.1002/pola.1995.080331509},
2052   file = {:DBD\\Zhang-epoxy-grafting-PE-1995.pdf:PDF},
2053   publisher = {John Wiley \& Sons, Inc. New York},
2054   url = {http://dx.doi.org/10.1002/pola.1995.080331509}
2055 }
2056
2057 @ARTICLE{Zhao1999,
2058   author = {Y. Zhao and M.-W. Urban},
2059   title = {Spectroscopic studies of microwave plasma reactions of maleic anhydride
2060         on poly (vinylidene fluoride) surfaces: crystallinity and surface
2061         reactions},
2062   journal = {Langmuir},
2063   year = {1999},
2064   volume = {15},
2065   pages = {3538\,-\,3544},
2066   number = {10},
2067   doi = {10.1021/la981310m},
2068   file = {:DBD\\Zhao-Carboxy-on-PVDF-1999.pdf:PDF},
2069   url = {http://dx.doi.org/10.1021/la981310m}
2070 }
2071
2072 @ARTICLE{Zou01,
2073   author = {X.P. Zou and E.T. Kang and K.G. Neoh and C.Q. Cui and T.B. Lim},
2074   title = {Surface modification of poly (tetrafluoroethylene) films by plasma
2075         polymerization of glycidyl methacrylate for adhesion enhancement
2076         with evaporated copper},
2077   journal = {Polymer},
2078   year = {2001},
2079   volume = {42},
2080   pages = {6409\,-\,6418},
2081   number = {15},
2082   doi = {10.1016/S0032-3861(01)00113-6},
2083   file = {:DBD\\Zou-epoxy-2001.pdf:PDF},
2084   publisher = {Elsevier},
2085   url = {\href{http://dx.doi.org/10.1016/S0032-3861(01)00113-6}{http://dx.doi.org/10.1016/S0032-3861(01)00113-6}}
2086 }
2087
2088 @BOOK{CRC07,
2089   title = {CRC Handbook of Chemistry and Physics},
2090   publisher = {Taylor and Francis},
2091   year = {2007},
2092   editor = {David R. Lide},
2093   pages = {12-114},
2094   edition = {87th},
2095   file = {:DBD\\CRC-Work functions-2007.pdf:PDF},
2096   url = {http:/www.hbcpnetbase.com}
2097 }
2098
2099 @STANDARD{ASTME1294,
2100   title = {{ASTM}~E~1294-89~(1999), Standard Test Method for Pore Size Characteristics
2101         of Membrane Filters Using Automated Liquid Porosimeter},
2102   organization = {ASTM International},
2103   url = {http://www.astm.org/DATABASE.CART/WITHDRAWN/E1294.htm}
2104 }
2105
2106 @STANDARD{ISO10780,
2107   title = {{ISO}~10780:1994, Stationary source emissions -- Measurement of velocity
2108         and volume flowrate of gas streams in ducts},
2109   organization = {ISO},
2110   url = {http://www.iso.org/iso/catalogue\_detail.htm?csnumber=18855}
2111 }
2112
2113 @STANDARD{ISO4003,
2114   title = {{ISO}~4003:1977, Permeable sintered metal materials -- Determination
2115         of bubble test pore size},
2116   organization = {ISO},
2117   url = {\newline http://www.iso.org/iso/catalogue\_detail.htm?csnumber=9678}
2118 }
2119
2120 @STANDARD{ISO4287,
2121   title = {{ISO}~4287~(1997), Geometrical Product Specifications Surface Texture
2122         Profile Method Terms, Definitions and Surface Texture Parameters},
2123   organization = {ISO},
2124   url = {http://www.iso.org/iso/catalogue\_detail.htm?csnumber=10132}
2125 }
2126